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一.SJ6000激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.SJ6000激光干涉儀性能特點

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦蠂鴥?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

三.SJ6000激光干涉儀原理

一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱波長為0.633µm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。

如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。

應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長將取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于空氣折射率會隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用于計算測量值的波長值可能需要對這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實踐中，對于技術(shù)指標(biāo)中的測量精度，只有線性位移（定位精度）測量需要進(jìn)行此類補(bǔ)償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

四.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

• 系統(tǒng)性能

    測量方式：單頻

    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

    動態(tài)采集頻率：50 kHz

    預(yù)熱時間：5-10分鐘

    工作溫度范圍：0~38℃

    環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

    存儲溫度范圍：-20℃~70℃

• 環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

    空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

• 線性測量

    測量距離：0-40m

    測量精度：0.5ppm (0-38℃)

    測量分辨率：1nm

    測量最大速度：3m/sec