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一.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。

二.SJ6000激光干涉儀性能特點

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

三.SJ6000激光干涉儀測量方法

1.1.直線度測量

1. 直線度測量構建

SJ6000激光頭射出后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡中，經直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，由光電探測器、分析器完成計數和測量。

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

1. 直線度測量應用

由于導軌磨損、事故造成的導軌損壞以及地基不牢導致的導軌彎曲等，會對機器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機器導軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機器的性能做出評價和補償。

1. 機器軸、直線導軌測量

當需要測量導軌較長時，傳統的直角測量方法無法提供這樣的測量長度和精度，測量時較重的角錐反射鏡的移動可能會對測量的準確性產生影響，所有一般建議將質量較輕的直線度干涉鏡作為移動部件。

1. 機床工作臺直線度測量

測量時，直線度反射鏡固定在機床的工作臺上，直線度干涉鏡安裝在移動的刀具位置，通過刀頭的移動就可以記錄下機床刀頭的直線度。