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一.SJ6000激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態分析。SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。

二.SJ6000激光干涉儀原理

中圖SJ6000激光干涉儀發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

三.SJ6000激光干涉儀應用

1、在數控機床檢定中的應用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。

數控機床軸定位精度、重復定位精度的檢測

2、在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形，導致的動態誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

三坐標線性精度、垂直度的檢測

3、在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現高精度校準的重要手段。

傳感器線性精度的測量

4、與其他鏡組配合的應用

SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數的測量，具有極高的精度和效率。

測長機線性精度、垂直度的測量

工業機器人標定

汽車裝配與夾具定位

SJ6000激光干涉儀技術參數：

技術線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um